產(chǎn)品詳情

Tergeo-EM是一臺集等離子清洗，蝕刻及表面處理系統(tǒng)于一體的實驗儀器。

技術(shù)規(guī)格

1.集等離子高速清洗和等離子無損清洗于一體的清洗模式。

2.配置等離子傳感器可實時測量等離子強度。

3.可達毫秒級短脈沖的脈沖工作模式。

4.實驗室等離子蝕刻，處理及清潔系統(tǒng)一體化。

5.擁有超大樣品室可成批處理樣品。石英管型號：外徑 110mm, 長：280mm，配有一個矩形石英樣品盤（100mmx250mm）可以托住成批樣品。

6.雙 TEM 樣品桿插口，可（根據(jù)客戶需求）裝配成兩種不同型號 TEM 樣品桿插口。

產(chǎn)品外觀

應(yīng)用實例