產(chǎn)品詳情

系統(tǒng)采用直線電機執(zhí)行器和空氣彈簧進行主動隔振，適用于精密儀器設(shè)備的隔振，可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場地的細微振動，在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰 減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項性能。它可以抑制振動干擾，使ORION NanoFab保持高分辨率。

技術(shù)規(guī)格

商品                      描述

尺寸                      1300（W）×1600（D）×182（H，放氣位置）mm

重量                      1100Kg

隔離機制（1）        6活動自由度

隔離機構(gòu)（2）        直線電機執(zhí)行器的主動隔離

所需氣壓                0.6MPa及以上

負載重量（最大）   2000Kg（均勻負載）

電源                      100-240VAC

電源頻率                50 / 60Hz

功耗（最大）          380W

隔離起始頻率          0.5Hz

應用實例